Thermal Control system气体温控器，ThermoTST GC120气体制冷机采用 混合制冷剂自动制冷层叠技术，以提 供 超低温而不需要液氮的成本、风险或不便。

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Air chiller System气体制冷机GC120，ThermoTST GC120气体制冷机采用 混合制冷剂自动制冷层叠技术，以提 供 超低温而不需要液氮的成本、风 险或不便。可以将干燥的气体冷却到 -90 ℃到-125 ℃，且不需要牺牲高 流速。

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TEL/TOKYO ELECTRON Chiller冰水机维修，主要用于半导体制造过程中精确控制反应室的温度。 它是一种自平衡循环装置，主要由换热器、循环泵、压缩机和控制系统组成。 属于生产过程中的温控设备。半导体专用温控设备利用制冷循环与工艺冷却水的热交换原理，高精度控制半导体工艺设备所用循环液的温度、流量和压力，以达到半导体工艺的温度控制要求。它是集成电路制造过程中的关键设备。

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