ZC209-4D 温控器半导体Chiller冰水机主要用于半导体(FAB)和FPD显示制程中工艺设备的温度精准控制,如刻蚀/薄膜/匀胶/显影等工艺设备的控温(例如LAM, AMAT, TEL, NAURA,Naura, Aixtron, Veeco, AMEC等)。 SEMI Chiller温控器主要由液泵、换热器、储液罐、制冷压缩机及控制系统组成的工艺过程中的温控设备。
ZC209-4D 温控器半导体Chiller冰水机
特点
产品中心
Product Center

ZC209-4D 温控器半导体Chiller冰水机
产品简介
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,电子/电池,电气,综合 |
ZC209-4D 温控器半导体Chiller冰水机主要用于半导体(FAB)和FPD显示制程中工艺设备的温度精准控制,如刻蚀/薄膜/匀胶/显影等工艺设备的控温(例如LAM, AMAT, TEL, NAURA,Naura, Aixtron, Veeco, AMEC等)。 SEMI Chiller温控器主要由液泵、换热器、储液罐、制冷压缩机及控制系统组成的工艺过程中的温控设备。
ZC209-4D 温控器半导体Chiller冰水机
特点
先进的控制技术,模糊控制,前馈控制,确保设备有较高的温控精度和良好的温度跟随性
先进的节能技术,Hot-Gas,变频技术等大幅降低了设备能耗
先进的密封和检漏技术,极大的减少了循环液的泄露和挥发情况
超低温制冷技术,单/多级复叠技术,多层复合保温技术
支持用户多通道/多类型定制需求
技术规格
| ZC209-4D Chiller | Specification | |||||
| Temperature range | -20 to +90℃ | |||||
| Temperature accuracy | ±0.1℃(Constant state) | |||||
| Cooling capacity | -10℃@4Kw | |||||
| Coolant Type | Fluorinert/Galden/Dl-EG | |||||
| Heater capacity | 3Kw | |||||
| Flow | 25LPM@0.5Mpa | |||||
| Cooling method | Water cooled | |||||
| Coolant Port | 3/4" Rc or LOK | |||||
| Facility water Port | 1/2" Rc or LOK | |||||
| Power supply | 3-phase 208V±10% | |||||
如需详细参数,请联系我们!