zonglen半导体温控平台及设备，热控卡盘平板又叫控温卡盘、控温平板、快速温变卡盘、高低温控温卡盘，该设备系统自身带制冷系统，避免了液氮、二氧化碳的消耗，提供了一个精确可控的温度平台，可以快速加热、冷却或保持温度

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