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Maruyama EXK-2112 Chiller维修
产品简介
product
产品分类| 品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,电气,综合 |
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类型：1/4 DIN 标准尺寸（96mm × 96mm），模拟指针式
控制方式：ON/OFF（开关控制）
传感器输入：K 型热电偶（CA）
输出信号：继电器接点 或 DC 12V/40mA（SSR 固态继电器驱动）
Maruyama EXK-2112 Chiller维修服务
主要功能：
温度设定与实时监测
加热器控制（防止低温结冰）
上限温度报警（超温保护）
传感器断线报警（安全保护）
外观：黑色面板，红 / 白色指针显示
丸山（Maruyama）是日本的精密温控设备厂商，其冷水机主要用于半导体、LCD 制造等高精度冷却。
主要特性：
应用：半导体蚀刻、沉积、晶圆制程设备的闭环温控
冷却介质：去离子水、惰性液（3M Fluorinert）、乙二醇水溶液
温控范围：标准 -20℃ ~ 80℃，定制可达 -50℃ ~ 200℃
控制精度：±0.1℃ ~ ±0.5℃（PID 闭环）
安全保护：液温高低、液位、压力、过载、流量异常报警
通讯：支持远程监控、SEMI 标准通讯
低温加热控制：水温过低时启动加热器，防止结冰
超温报警停机：冷却失效、温度过高时触发整机保护
状态显示：实时指针显示冷却液温度
故障诊断：传感器断线时报警并切断输出
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