Maruyama YR-8030SC (eYR-8030SC) 是日本丸山（Maruyama）生产的一款高精度、水冷式半导体工业冷水机（Chiller），专为晶圆制程（如蚀刻、沉积设备）的精密温控设计。中冷提供丸山Maruyama YR-8030SC Chiller维修服务。

丸山Maruyama YR-8030SC Chiller维修服务

一、核心规格参数 (eYR-8030SC-LP 型号)

• 温控范围：-30℃ ~ +80℃（标准型）

• 控制精度：±0.5℃

• 制冷能力 (60Hz)：

• 4,000W @ -10℃

• 3,500W @ -20℃

• 加热能力：1,800W (AC 200V)

• 冷却方式：水冷式（需外接冷却水）

• 电源要求：200/220VAC, 3 相，50/60Hz

• 最大功耗：9.0kVA / 26A

• 外部尺寸 (W×D×H)：559 × 758 × 960 mm

• 运行噪音：约 70 dBA（低噪设计）

丸山Maruyama YR-8030SC Chiller维修服务

二、主要技术特性

1. 精密温控系统

• 采用CPU 智能控制，实时监控并优化制冷循环

• 独立变频驱动压缩机，大幅降低噪音

• 专用热交换器，减少温度漂移、振动及低负荷结霜

2. 操作界面

• LCD 触控面板，数字显示与设定

• 支持温度偏差报警、紧急模式设定

3. 高稳定性

• 可在 **43℃** 高温环境下连续稳定运行

• 适配去离子水（DI Water）、惰性液等半导体工艺介质

• 具备液温、液位、压力、流量、过载等多重保护

三、典型应用

• 蚀刻（Etch）设备腔体与电极

• 化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）设备

• 晶圆检测与光刻设备

四、型号说明

• YR-8030SC：基础型号

• eYR-8030SC-LP：升级型号（低功耗 / 低噪音版）

• YR-8030SC(L)：加长型 / 大容量版本