ZH80 温控器半导体Chiller SEMI Chiller温控器主要用于半导体（FAB）和FPD显示制程中工艺设备的温度精准控制，如刻蚀/薄膜/匀胶/显影等工艺设备的控温（例如LAM, AMAT, TEL, NAURA，Naura, Aixtron, Veeco, AMEC等）。 SEMI Chiller温控器主要由液泵、换热器、储液罐、制冷压缩机及控制系统组成的工艺过程中的温控设备。

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