Recirculating Chiller半导体模块Chiller，主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精ZHUN控制，具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置。在半导体制作过程/激光加工机/分析装置/FPD制造装置等用途中成果较多。

半导体专用温控装置chiller，主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精ZHUN控制，具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置。在半导体制作过程/激光加工机/分析装置/FPD制造装置等用途中成果较多。

半导体冷热测试一体机 循环制冷机chiller ，主要应用与半导体生产过程中及测试环节的温度精ZHUN控制，具有温度稳定性高、温度范围广、故障诊断、外部通信等丰富功能的装置。在半导体制作过程/激光加工机/分析装置/FPD制造装置等用途中成果较多。