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ZC209半导体工艺冰水机chiller
产品简介
| 品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,电气,综合 |
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ZC209半导体工艺冰水机chiller
Chiller ZC209是一台对循环液进行温度控 制并输出冷热液的装置。具有温度稳定性 高、温度范围广、故障自诊断、外部通信 等丰富功能。采用优良的制冷及温度控制 技术,具有广泛的温度范围: -20℃ 至+90℃,在半导体制作过程/激光加工机 /分析装置/LCD制造装置/金属模具温控等 行业用途广泛。
应用
应用于半导体、激光、FPD, 如 :
半导体(蚀刻装置、CMP、涂布机 ·显影机、试验机、清洗机)
激光(激光加工机 ·激光焊接机、激光器、光纤激光器用传送电缆接头、超声波检查 装置、二次电池制造工程)
可适用于广泛的行业,如制药、化工、新能源、半导体、实验室、高校等多种领域。
特点
· 宽温度范围:-20℃~ +90 ℃
· 温度精度高:静载时可达 ±0.5℃
· 触摸屏操作:友好的人机 交互界面,支持远程通信 操作、历史数据存储与导 出
· 多重保护:超温超压干烧 漏电以及误操作等多重人 机保护
· 运行稳定可靠:元件均采 用器件,自研控制系 统高效稳定