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Maruyama冰水机 冷却器chiller维修服务
产品简介
| 品牌 | 其他品牌 | 冷却方式 | 水冷式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 1万-2万 | 产地类别 | 进口 |
| 仪器种类 | 一体式 | 应用领域 | 化工,电子/电池,综合 |
Maruyama冰水机 冷却器chiller维修服务
半导体专用温控装置(Semiconductor Chiller)主要用于半导体制造过程中精确控制反应室的温度。 它是一种自平衡循环装置,主要由换热器、循环泵、压缩机和控制系统组成。 属于生产过程中的温控设备。半导体专用温控设备利用制冷循环与工艺冷却水的热交换原理,高精度控制半导体工艺设备所用循环液的温度、流量和压力,以达到半导体工艺的温度控制要求。它是集成电路制造过程中的关键设备。根据不同工艺的要求,控制给定温度的循环液流过半导体工艺设备反应室内的电极或壁,将热量带入半导体专用温控设备,从而传递热量通过热交换器进行制冷。制冷剂,再通过制冷剂将热量释放给工艺冷却水,从而实现工艺过程的温度控制。
Maruyama冰水机 冷却器chiller维修服务
2023年半导体专用温控装置市场规模约46.9亿元,2019-2023年年复合增长率CAGR约为 %,预计未来将持续保持平稳增长的态势,到2030年市场规模将接近70.2亿元,未来六年CAGR为6.0%。
可维修Maruyama Chiller丸山制冷机,eYR-8030SC、eYR-9030DC等Maruyama冰水机
主要用于半导体制造过程中精确控制反应室的温度。 它是一种自平衡循环装置,主要由换热器、循环泵、压缩机和控制系统组成。 属于生产过程中的温控设备。半导体专用温控设备利用制冷循环与工艺冷却水的热交换原理,高精度控制半导体工艺设备所用循环液的温度、流量和压力,以达到半导体工艺的温度控制要求。它是集成电路制造过程中的关键设备。根据不同工艺的要求,控制给定温度的循环液流过半导体工艺设备反应室内的电极或壁,将热量带入半导体专用温控设备,从而传递热量通过热交换器进行制冷。制冷剂,再通过制冷剂将热量释放给工艺冷却水,从而实现工艺过程的温度控制。