Gas chiller 高低温液体冷却机Chiller，主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置，属于生产过程中的温控设备。在常规PID控制算法的基础上加入了预测控制技术和自适应控制技术，并采用变频控制及两级闭环节能控制，显著地提高了Chiller的稳定性、控制精度和响应速度

zonglen气体快速温变测试机，ThermoTST GC120气体制冷机采用 混合制冷剂自动制冷层叠技术，以提 供 超低温而不需要液氮的成本、风 险或不便。可以将干燥的气体冷却到 -90 ℃到-125 ℃，且不需要牺牲高 流速。

zonglen半导体冷却装置Chiller，半导体专用温控装置（Chiller）主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置，属于生产过程中的温控设备。在常规PID控制算法的基础上加入了预测控制技术和自适应控制技术，并采用变频控制及两级闭环节能控制，显著地提高了Chiller的稳定性、控制精度和响应速度

超低温制冷机 COOL-F Series，COOL系列超低温制冷机使用环保、无毒、不易燃的制冷剂，是取代小型真空系统中移动不便的杜瓦瓶和供应不畅的液氮好选择。多种冷头可选，按需定制，温度范围-40℃至-95℃可选。

紧凑型超低温制冷机COOL1000 Series，COOL1000系列是一台紧凑的高效制冷系统，可以为各种应用提供高效率和可靠性。COOL1000系列由压缩机单元、两根无霜的冷却剂输送管和一个带法兰的冷端组成，这种低振动制冷系统可以低至-150℃(120K)的温度。压缩机单元是机械制冷，无需液氮或干冰，紧凑的体积几乎可以安装在任何地方，并在30分钟内冷却到所需的工作温度，非常适用于小型系统。

ThermoTST Series气体制冷机GC120，ThermoTST GC120气体制冷机采用 混合制冷剂自动制冷层叠技术，以提 供 超低温而不需要液氮的成本、风 险或不便。可以将干燥的气体冷却到 -90 ℃到-125 ℃，且不需要牺牲高 流速。